未来5年复合增长率约6% 权威解读电子特种气体行业发展机会

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电子特种二氧化碳市场

电子二氧化碳占半导体生产商在化学品和材料上花费的最大比例。总而言之,2018年全球电子二氧化碳的支出几乎达到100亿美元。关键二氧化碳严重短缺的最新大疑问极大地影响了整个行业,在一点请况下,也限制了产量。电子二氧化碳中的电子特种二氧化碳(ESG)市场嘴笨 是全球工业二氧化碳市场的一小每项,但却是电子化学品和材料领域中最复杂化,最不易了解的细分市场之一。Linx Consulting估计,2018年ESG市场约为34亿美元,高于2017年的约31亿美元。总体而言,完后 潜在的需求量增长和高价值产品的使用增加,ESG的增长率在2018年增长了10%。在诸如蚀刻和特定的沉积工艺的应用中。

ESG的关键区别不仅在于所提供的二氧化碳和混合二氧化碳的技术复杂化性,还在于对二氧化碳供应的纯度和质量一致性的要求。通常在分析能力极限下的产品纯度和一致性非要与制造中的统计过程控制和绝对严格的交付可靠性要求并肩达成。ESG包括碳氟化合物,碳氢化合物,沉积前趋体,掺杂剂,腐蚀剂(卤化物/水合物)和稀有二氧化碳混合物。

ESG的关键最终用途市场包括半导体晶圆制造,平板显示器(FPD)制造,化合物半导体/ LED生产和光伏电池制造,如下图1所示。

图1 电子特种二氧化碳的终端应用市场

半导体行业是ESG的最大用户,在产品,包装容量和纯度要求方面具有最复杂化的要求。半导体工业使用所有不同种类的特种二氧化碳。纯度通常为4N及以上,包装的范围可从小钢瓶到T/ Y钢瓶包放入钢管拖车。主要需求市场遍布全球,包括中国,欧洲,日本,韩国,东南亚和美国。

平板显示器(FPD)是ESG的第二大用户群。然而,FPD工厂中使用的ESG产品的品种广度比半导体工业小。主要产品应用包括硅源,掺杂剂,氧化和氮化源,腔室超净和蚀刻剂。随着FPD行业在TFT-LCD细分市场和AMOLED细分市场的蓬勃发展,ESG的使用完后 快速增长,很久 在韩国,中国和日本有一点大型终端用户。韩国和心国拥有大型ESG供应基础设施,旨在为FPD行业提供服务。早期,哪几种国家的目标是FPD行业和其相关价值链的发展,很久 大规模开发了所需的ESG产品,如NF3和硅前体二氧化碳。当大伙 总体上审视市场时,换成亚洲电子行业的地理分布密度,绝大多数ESG市场都将经常出显在亚洲区域,你这俩点就匮乏为奇了,如下图2所示。

图2电子特种二氧化碳市场的区域分布

主要应用

ESG的应用非要很容易地与微电子行业中常用的主要薄膜制造工艺相关联。该工艺包括电介质和金属蚀刻,电介质沉积,诸如钛或钨的金属沉积,诸如硬掩模等的非硅材料的沉积,用于热扩散和离子注入的掺杂剂,反应室超净; 以及一点一点专业应用线程。这在下面的图3中说明。

图3 电子特种二氧化碳的主要应用

显然,ESG与薄膜沉积(CVD和腔室超净)和蚀刻处理紧密相关。未来,该行业将通过新型沉积和蚀刻工艺增加ESG的使用。新的应用可包括:低温沉积,高沉积波特率工艺,用于高纵横比形状的可流动CVD膜,以及具有更高均匀性的高选折 性深蚀刻。所有哪几种过程非要提高器件性能,新要求将依赖于ESG和稀有二氧化碳来实现哪几种要求。

电子特种二氧化碳未来的展望

总体而言,大伙 认为ESG市场将在未来五年内以约6%的复合增长率成长。目前最大的六家全球型供应商--Versum Materials,SK Materials,MTG / TNS, Air Liquide, Linde / Praxair和KDK控制着整体市场的一半份额左右。为宜有100家供应商占据 了市场的另一半。大伙 预计,随着行业的持续增长,大伙 将继续就看供应商基础的变化,包括持续整合和新兴的区域型供应商,以其独特的技术和增值能力进入市场。

美国电子二氧化碳会议

本文基于Linx Consulting的电子特种二氧化碳报告中的见解和分析。该报告每年发布一次,被认为是有关电子行业特种二氧化碳需求综合信息的主要行业资源。作为这项持续努力的一每项,大伙 在全球范围内持续跟踪半导体,平板显示器,太阳能和心合物半导体行业中使用的100多种不同的ESG产品。

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